導体/磁性体積層構造と強磁性共鳴による薄型電磁シールドの高性能化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG11103

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2011/11/25

タイトル(英語): High-Performance Electromagnetic Thin-Film Shield with Conductor/Magnetic Material Lamination and Ferromagnetic Resonance

著者名: 山田 啓壽(東芝),石田 正明(東芝),島田 寛(東北大学),山口 正洋(東北大学)

著者名(英語): Yamada Keiju(Toshiba Corporation),Ishida Masaaki(Toshiba Corporation),Shimada Yutaka(Tohoku University),Yamaguchi Masahiro(Tohoku University)

キーワード: シールド|導体|磁性体|積層|磁界シールド効果|強磁性共鳴|Shield|Conductor|Magnetic material|lamination|Magnetic shielding effectiveness|Ferromagnetic resonance

要約(日本語): 導体と磁性体の積層膜からなる高性能薄型電磁シールドをチップサイズパッケージ向けに開発した。この積層シールドは、積層構造による電磁波の多重反射、および磁性体の強磁性共鳴によりRF帯で高いシールド効果を示す。本論文では、インピーダンス計算、有限要素法電磁界シミュレーション、試作・測定により、積層シールドの磁界シールド効果を確認した。導体層2層と磁性体層1層を用いた総厚1um厚の積層シールドを測定したところ、最大で66dBの磁界シールド効果が得られ、1um厚の導体からなるシールドよりも27dBも高かった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 5,912 Kバイト