ガスフロースパッタ法により堆積したCoドープTiO2薄膜の磁気特性と磁気光学特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG12063

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2012/06/21

タイトル(英語): Magnetic and magneto-optical properties of Co-doped TiO2 films deposited by gas flow sputtering

著者名: 佐久間 洋志(宇都宮大学),高橋 新(宇都宮大学),杉山 友希(宇都宮大学),田中 直樹(宇都宮大学),石井 清(宇都宮大学)

著者名(英語): Sakuma Hiroshi(Utsunomiya University),Takahashi Arata(Utsunomiya University),Sugiyama Tomoki(Utsunomiya University),Tanaka Naoki(Utsunomiya University),Ishii Kiyoshi(Utsunomiya University)

キーワード: ガスフロースパッタ法|酸化物磁性半導体|磁気特性|磁気光学特性|ＴｉＯ２|Ｘ線光電子分光|Gas flow sputtering|Magnetic oxide semiconductors|Magnetic properties|Magneto-optical properties|TiO2|X-ray photoelectron spectroscopy

要約(日本語): 低エネルギー薄膜堆積プロセスであるガスフロースパッタ法によりCoドープTiO2薄膜を作製した．X線回折およびX線光電子分光では金属Coは検出されず，Coは価数2+の酸化状態であることが示唆された．作製した薄膜は103 deg/cmオーダーの比較的大きなファラデー回転と磁気円二色性を示した．アニール温度を下げることにより，平均粒径30 nmのCoドープTiO2ナノ粒子を作製したが，強磁性の発現には至っていない．

要約(英語): Co-doped TiO2 films were deposited by a low-energy deposition process, gas flow sputtering. No metallic Co phase was detected by X-ray diffraction and X-ray photoelectron spectroscopy. The films show a relatively large Faraday rotation and magnetic circular dichroism (MCD) on the order of 103 deg/cm. Co-doped TiO2 nanoparticles with an average size of 30 nm were fabricated by lowering annealing temperature, although they did not show ferromagnetism.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 4,279 Kバイト