レーザアブレーション条件を制御し作製した等方性Fe-Pt系厚膜磁石

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG12071

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2012/08/07

タイトル(英語): Isotropic Fe-Pt thick film magnets prepared by controlling laser ablation conditions

著者名: 浦川 大輔(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

著者名(英語): Urakawa Daisuke(Nagasaki University),Yanai Takeshi(Nagasaki University),Nakano Masaki(Nagasaki University),Fukunaga Hirotoshi(Nagasaki University)

キーワード: Ｆｅ－Ｐｔ系厚膜磁石|ＰＬＤ法|ドロップレット|エネルギー密度|Fe-Pt thick film magnet|PLD metohed|droplet|energy density

要約(日本語): 我々は数10 m/h以上の成膜速度を実現したPLD法を用い等方性Fe-Pt系厚膜磁石を作製してきた。この手法では、ターゲットより飛び出す数m径のドロプレットを利用し、短時間での厚膜化を実現している。一方、ドロップレットが磁気特性の低下を招くことを見出し、その結果を昨年度の研究会で報告した。本報告では、DF rate(Defocus rate)を調整し、ターゲットより飛び出すドロップレットのサイズや量を制御し、磁気特性に及ぼす影響について検討した。

要約(英語): A high-speed PLD (Pulsed Laser Deposition) method enabled us to obtain isotropic Fe-Pt thick film magnets by taking advantage of large particles of droplets. This contribution reports the control of the size and/or amount of droplets by varying DF rate. In addition, we evaluated the magnetic properties of each film.

原稿種別: 日本語

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