コプレーナ線路を用いた高感度薄膜磁界センサの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG12087

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2012/09/24

タイトル(英語): Highly accurate thin film sensor using coplanar line

著者名: 木村 卓文(東北学院大学),中野 弘道(東北学院大学),薮上 信(東北学院大学),小澤 哲也(東北学院大学),小林 伸聖(電磁材料研究所),荒井 賢一(電磁材料研究所),池田 賢司(太陽誘電)

著者名(英語): Kimura Takafumi(Tohoku Gakuin University),Nakano Hiromichi(Tohoku Gakuin University),Yabukami Shin(Tohoku Gakuin University),Ozawa Tetsuya(Tohoku Gakuin University),Kobayashi Nobukiyo(Research Institute for Electric and Magnetic materials),Arai Ken-Ichi(Research Institute for Electric and Magnetic materials),Ikeda Kenji(TAIYO YUDEN CO.,LTD.)

キーワード: コプレーナ線路|薄膜磁界センサ

要約(日本語): 高誘電薄膜（SrTiO3）、Cu薄膜によるコプレーナ線路およびCoNbZr薄膜を薄膜プロセスにより一体化した薄膜磁界センサを作製し，高い空間分解能の高感度磁界計測を目指した。また微細加工技術によりほぼ同一測定のセンサ素子を作成し，差動センサの構成を検討した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,239 Kバイト