パルス着磁によるソフト／ハード磁性膜を用いたチューナブル薄膜インダクタの作製と特性評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG12091

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2012/09/25

タイトル(英語): Fabrication and Evaluation of Tunable Thin Film Inductor Using Soft/Hard Magnetic Film by Pulse-Magnetization Method

著者名: 大日方 洋介(信州大学),蔵本 豊(信州大学),結城 恵(信州大学),曽根原 誠(信州大学),佐藤 敏郎(信州大学)

著者名(英語): Obinata Yosuke(Shinshu University),Kuramoto Yutaka(Shinshu University),Yuki Megumi(Shinshu University),Sonehara Makoto(Shinshu University),Sato Toshiro(Shinshu University)

キーワード: 携帯端末|チューナブル薄膜インダクタ|ＬＣ－ＶＣＯ|ソフト／ハード磁性膜|パルス着磁|cell phone|tunable thin film inductor|LC-VCO|soft/hard magnetic film|pulse-magnetization method

要約(日本語): 近年，各種携帯端末の高・多機能化ならびにマルチバンド化の進展により，無線回路部の小型化が要求されている．一つのデバイスで複数の周波数帯を利用できるマルチバンド型デバイスが実現できれば，部品点数を削減でき，無線回路の小型化が図れる．そこで，本研究ではパルス着磁法によるソフト／ハード磁性膜を用いた透磁率可変技術に着目し， mmサイズのチューナブル薄膜インダクタを試作し，特性評価を行った．

要約(英語): Recently, a miniaturization of the radio circuits in mobile terminal equipments has been required. Therefore, the tunable device has been required to use multiband. In this study, the mm size tunable thin film inductors using soft/hard magnetic film by pulse-magnetized method were fabricated and characterized.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,418 Kバイト