FeCo-Si-AlFナノグラニュラー膜の膜構造制御とTMR

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG12101

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2012/09/25

タイトル(英語): Structure control and TMR of FeCo-Si-AlF nano granular films

著者名: 小林 伸聖(電磁材料研究所),石田 今朝男(電磁材料研究所),岩佐 忠義(電磁材料研究所),鶴井 隆雄(東北大学金属材料研究所),荒井 賢一(電磁材料研究所),増本 健(電磁材料研究所)

著者名(英語): Kobayashi Nobukiyo(Research Institute for Electromagnetic Materials),Ishida Kesao(Research Institute for Electromagnetic Materials),Iwasa Tadayoshi(Research Institute for Electromagnetic Materials),Tsurui Takao(Institute for Materials Research),Arai Ken-Ichi(Research Institute for Electromagnetic Materials),Masumoto Tsuyoshi(Research Institute for Electromagnetic Materials)

キーワード: ナノグラニュラー|磁気抵抗効果|ナノ構造|磁性薄膜|磁気センサー|nano granular|magnetoresistance|nano structure|magnetic thin film|magnetic sensor

要約(日本語): Fe-Co合金とフッ化物絶縁体からなるナノグラニュラー膜は、高感度磁気センサGIGSに用いられるTMR薄膜材料である。本研究では、加熱基板上に作製することにより、これらグラニュラー膜の膜構造の制御を試み、その膜構造と磁気特性およびTMRを検討した。その結果、610℃の基板上に成膜したFeCo-Si-AlF膜は、FeCo合金からなるグラニュールの粒径が大きく成長(5-10nm)し、粒界相のAlF3は結晶相であり、FeCoグラニュールが結晶相のAlF3粒界相を介してほぼ均一に分散した構造を有する。従来の室温基板上に作製されたナノグラニュラーTMR膜では、超常磁性でなければTMRを示さないのに対し、加熱基板上に作製した膜は強磁性と同時にTMRを示す。このように、基板加熱によってマトリックスの結晶性と磁性グラニュールの粒径を制御することによって、強磁性とTMRを有する膜が得られる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,289 Kバイト