1mΩ/sq.以下が測定可能な非接触型シート抵抗測定法

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG12112

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2012/10/30

タイトル(英語): Contactless Sheet Resistance Measurement System for Very Low Resistance under 1 m Ohm/sq.

著者名: 金子 弘明(千葉大学),早乙女 英夫(千葉大学)

著者名(英語): Kaneko Hiroaki(Chiba University),Saotome Hideo(Chiba University)

要約(日本語): 1mΩ/sq.以下のシート抵抗値をもつ試料について，非接触で測定できる回路を用いた実験の結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,251 Kバイト