NdFeBスパッタ薄膜の微細加工と応用デバイス

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG12170

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2012/12/20

タイトル(英語): Microfabrication process for NdFeB sputtered film and its application

著者名: 小峠 竜也(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),田中 祐至(兵庫県立大学),上原 稔(日立金属),神田 健介(兵庫県立大学),樋口 行平(科学技術振興機構),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Kotouge Tatsuya(University of Hyogo),Fujita Takyuki(University of Hyogo),Tanaka Yuji(University of Hyogo),Uehara Minoru(Hitachi NeoMax Co.,Ltd),Kanda Kensuke(University of Hyogo),Higuchi Kohei(Japan Science and Technology Agency),Maenaka Kazusuke(University of Hyogo)

キーワード: ＮｄＦｅＢ|スパッタ|微細加工|ＭＥＭＳ|薄膜磁石|機械研磨|NdFeB|sputtering|microfabrication|MEMS|thin-film magnet|mechanical polishing

要約(日本語): 本研究では微細加工されたシリコン基板上へNdFeBのスパッタによって磁性膜を埋め込み，その後研磨するプロセスとあわせることで，NdFeB 薄膜とMEMS デバイスの融合技術を確立した。報告では，NdFeBスパッタ成膜プロセスや応用デバイスであるエナジーハーベスタの作製，評価例について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,492 Kバイト