MFMによる高周波近傍磁界測定

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG12172

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2012/12/20

タイトル(英語): High Frequency Magnetic Near Field Measurement Using MFM

著者名: 遠藤 恭(東北大学),福嶋 正昭(東北大学),荒井 薫(東北大学),島田 寛(東北大学),山口 正洋(東北大学)

著者名(英語): Endo Yasushi(Tohoku University),Fukushima Masaaki(Tohoku University),Arai Kaoru(Tohoku University),Shimada Yutaka(Tohoku University),Yamaguchi Masahiro(Tohoku University)

キーワード: 磁気力顕微鏡|高周波近傍磁界|コプレーナウェーブガイド|ＡＭ変調|場のうなり|ＭＦＭ探針|Magnetic Force Microscope|High Frequency Magnetic Near Field|Coplanar Waveguide|amplitude modulation|Beating field|MFM Tip

要約(日本語): 我々は，コプレーナ伝送線路（CPW）を磁界源として，磁気力顕微鏡（MFM）を用いてコプレーナ伝送線路上における高周波近傍磁界の測定を行った．高周波帯域における測定には，振幅変調方式とうなり方式を用いた．探針に関しては，Si探針と，Si探針に硬質磁性材料であるCo-Cr-Ptおよび軟質磁性材料であるNi-Fe，Fe-Coをそれぞれ製膜したものを用いた．これらの探針を用いることで，いずれの方式においてもCPW上の高周波近傍磁界を検出できた．

要約(英語): We evaluated high frequency magnetic near field above the coplanar waveguide (CPW) using a magnetic force microscope (MFM). To measure high frequency field, we employed the amplitude modulation (AM) and beat techniques. They are successfully demonstrated that our proposed method enables the measurement of high frequency magnetic near field.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,177 Kバイト