誘電体薄膜を用いた伝送線路型薄膜磁界センサの高感度化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG13055

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2013/06/14

タイトル(英語): Enhancement of Magnetic Field Detection of Transmission Line Type Thin Film Sensor using Dielectric Film

著者名: 植竹 宏明(東北学院大学),薮上 信(東北学院大学),齋藤 芳則(東北学院大学),千葉 智章(東北学院大学),小澤 哲也(東北学院大学),小林 伸聖(電磁材料研究所),荒井 賢一(電磁材料研究所)

著者名(英語): Uetake Hiroaki(TOHOKU GAKUIN UNIVERSITY),Yabukami shin(TOHOKU GAKUIN UNIVERSITY),Saito Yoshinori(TOHOKU GAKUIN UNIVERSITY),Chiba Tomoaki(TOHOKU GAKUIN UNIVERSITY),Ozawa Tetsuya(TOHOKU GAKUIN UNIVERSITY),Kobayashi Nobukiyo(Research Institute for Electromagnetic Materials),Arai Ken Ichi (Research Institute for Electromagnetic Materials)

キーワード: 薄膜磁界センサ|誘電薄膜|コプレーナ線路|Thin film magnetic field sensor|dielectric thin film|coplanar line

要約(日本語): 筆者らはこれまで伝送線路型のセンサ素子構造を有し，キャリアの位相差を計測することにより高感度な薄膜磁界センサを開発してきた。しかしこれまで報告したセンサは磁性薄膜とプリント基板による伝送線路を組み合わせた構造であり，集積化は困難であった。また生体磁気計測等の高感度磁界計測には環境磁界の影響を抑制するため差動構造（いわゆるグラジオメータ）にすることが必要であり，その観点からも同一特性の複数個のセンサ素子を作成することが必要であった。そこで本稿では，伝送線路および磁性薄膜をすべて薄膜プロセスにより一体化した集積化薄膜磁界センサを作成し，高い空間分解能の高感度磁界計測を目指した。SrTiO3薄膜およびSrTiO3基板を用いてキャリアの波長短縮効果をはかり、磁界検出感度を高めた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 925 Kバイト