CoZrNb直交磁化膜の高周波特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG13057

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2013/06/14

タイトル(英語): High frequency properties of CoZrNb double layer films with crossing uni-axial anisotropy

著者名: 伊藤 哲夫(東北大学),遠藤 恭(東北大学),柳 邦雄(東北大学),島田 寛(東北大学),山口 正洋(東北大学)

著者名(英語): Ito Tetsuo(Tohoku University),Endo Yasushi(Tohoku University),Yanagi Kunio(Tohoku University),Shimada Yutaka(Tohoku University),Yamaguchi Masahiro(Tohoku University)

キーワード: 磁性薄膜|面内等方透磁率|ＲＦＩＣチップ|ＣｏＺｒＮｂ|Magnetic thin film|in-plane isotropic permeabiltiy|RFIC chip|CoZrNb

要約(日本語): 本研究では，磁性薄膜を用いてRFICチップ上で発生するノイズを抑制することを目的として，面内等方透磁率を有するCoZrNb/SiO2/CoZrNb積層膜を作製し，その高周波特性を評価した。面内等方透磁率となるSiO2膜厚の最適化と，強磁性共鳴周波数の高周波帯域側へのシフトを観測した。これらの詳細な結果について報告する。

原稿種別: 日本語

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