等方性Nd-Fe-B系厚膜磁石のSi基板上への成膜

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG13075

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2013/08/08

タイトル(英語): Isotropic Nd-Fe-B thick film magnets deposited on Si substrates

著者名: 押領司 学(長崎大学),中野 正基(長崎大学),藤井 泰久(KRI),柳井 武志(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

著者名(英語): Oryoshi Manabu(Nagasaki university),Nakano Masaki(Nagasaki university),Fujii Yasuhisa(KRI cooperation),Yanai Takeshi(Nagasaki university),Fukunaga Hirotoshi(Nagasaki university)

キーワード: 厚膜磁石|ＰＬＤ（Ｐｕｌｓｅｄ　Ｌａｓｅｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ　）法|Ｓｉ基板|保磁力|Ｎｄ－Ｆｅ－Ｂ系磁石|Ｔａバッファー層|thick film magnet|PLD(Pulsed Laser Deposition ) method|Si substrate|coercivity |Nd-Fe-B magnets|Ta buffer layer

要約(日本語): 我々はPLD(Pulsed Laser Deposition)法を用い，FeもしくはTa基板等の金属基板上に200 μm厚以上の等方性Nd-Fe-B系厚膜磁石を成膜し，ミリサイズモータや摩擦駆動型モータに応用してきた。本研究では，MEMSへの応用範囲の拡大を鑑み，上述のPLD法を用い，10 ～100 m厚の広い膜厚範囲でNd-Fe-B系厚膜磁石をSi基板上に成膜した。

要約(英語): PLD- made Nd-Fe-B thick film magnets thicker than 200 microns deposited on Fe or Ta substrates have been applied to a milli-size motor together with a friction drive motor. This contribution reports the deposition of Nd-Fe-B films with the thickness range from 10 to 100m on Si substrates in order to enhance the application filed of MEMS.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 728 Kバイト