磁性薄膜電力センサの熱処理による感度の改善に関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG14116

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2014/08/08

タイトル(英語): High Sensitive Magnetic Thin Film Power Sensor by Annealing

著者名: 乘松 直樹(大阪市立大学),辻本 浩章(大阪市立大学)

著者名(英語): Norimatsu Naoki(Osaka City University),Tsujimoto Hiroaki(Osaka City University)

キーワード: 電力センサ|スマートグリッド|アニール処理|熱処理|内部応力|電力測定|power sensor|Smart grid|annealing|heat‐treat|internal stress|power measurement

要約(日本語): 磁性薄膜電力センサは小型・軽量・出力がリアルタイムという特徴を活かしスマートグリッドのキーデバイスになると期待されている．しかし，このセンサはμVオーダーと出力が小さく，またセンサの誤差も最大で8％と非常に大きいという問題があった．そこで，センサに600℃でアニール処理を施し，内部応力の除去を行った．すると，実際に電力測定を行ってみると出力が1.5倍向上し，誤差のばらつきを半分に抑えることに成功した．

要約(英語): A magnetic thin film power sensor is expected to be an important device of “Smart grid” .　However, the output of this sensor is low.Therefore, I made this sensor high sensitive by annealing.As a result, Not only the output of the sensor increased 1.6 times, but the error became 1/3.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,509 Kバイト