レーザアブレーション法によって作製したFe-Co系磁性膜の表面形態と磁気特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG14202

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2014/12/12

タイトル(英語): Surface morphology and magnetic properties of Fe-Co films prepared by laser ablation technique

著者名: 山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

著者名(英語): Yamashita Akihiro(Nagasaki Univ.),Yanai Takeshi(Nagasaki Univ.),Nakano Masaki(Nagasaki Univ.),Fukunaga Hirotoshi(Nagasaki Univ.)

キーワード: ＰＬＤ（Ｐｕｌｓｅｄ　Ｌａｓｅｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法|鉄－コバルト|シリコン基板|ＤＦ（Ｄｅｆｏｃｕｓ）　ｒａｔｅ|PLD(Pulsed Laser Deposition)|Fe-Co|Si substrates|DF rate

要約(日本語): 【要旨(日本語)】　本研究では，PLD(Pulsed Laser Deposition)法を用い，レーザビームのスポットサイズを主なパラメータとして，Fe-Co膜の作製を試みた。具体的には，Fe70Co30ターゲットを使用し，Si基板上に試料を成膜した際，スポットサイズの低下に伴い（Defocus rate =0），試料の組成がターゲット組成に近づく現象が見いだされ，更にターゲットより飛び出すドロップレットのサイズならびに量の減少に伴い表面の粗さも低減することが明らかとなった。

要約(英語): A preparation of Fe-Co films by using a PLD (Pulsed Laser Deposition) method with various spot sizes of laser beam. It was found that the usage of a Fe70Co30 target together with a small spot size (Defocus rate = 0) enables us to obtain a Fe-Co film with almost the same composition of the corresponding target. Furthermore, the surface roughness was improved by the reduction in the spot size of a laser.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 699 Kバイト