コリニア位相干渉光学系を用いた非接触形状計測の研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG14232

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2014/12/26

タイトル(英語): Study of non-contact shape measurement using a collinear phase interference optical system

著者名: 坂口 一灯(豊橋技術科学大学),橋本 良介(豊橋技術科学大学),後藤 太一(豊橋技術科学大学),高木 宏幸(豊橋技術科学大学),井上 光輝(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Sakaguchi Kazuto(Toyohashi University of Technology),Hashimoto Ryosuke(Toyohashi University of Technology),Goto Taichi(Toyohashi University of Technology),Takagi Hiroyuki(Toyohashi University of Technology),Inoue Mitsuteru(Toyohashi University of Technology)

キーワード: 光計測|位相干渉|非接触形状計測|磁気光学効果|有限要素法|Optical measurement |Phase interference|Non-contact shape measurement|Magneto-optical effect|Finite element method

要約(日本語): 現在，非接触で欠陥を検査する技術として光を用いた欠陥探傷技術の研究が行われている．光は遠隔から被験体に照射でき，非接触で測定することができるという特徴を有する．我々は遠隔かつ非接触で測定できるという光の特徴に着目し，光の位相干渉を利用することで，欠陥を高感度かつ非接触で測定できる光学系を開発した．

要約(英語): In recent years, optical measurement technique is used as a technique for measuring the sample in a non-contact. We focused on the optical measurement technology and magneto-optical effect that can inspect the specimen to high speed, has developed a collinear phase interference optical system. We simulated the optical system, this approach showed that it can be used to measure the magneto-optical effect.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,530 Kバイト