PLD法を用いガラス基板上に成膜したPr-Fe-B系磁石膜の磁気特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG15078

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2015/08/04

タイトル(英語): Magnetic properties of Pr-Fe-B film magnets deposited on glass substrates by PLD method

著者名: 廣瀧 敬士(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

著者名(英語): Keishi Hirotaki(Nagasaki-university),Takeshi Yanai(Nagasaki-university),Masaki Nakano(Nagasaki-university),Hirotoshi Hukunaga(Nagasaki-university)

キーワード: Ｐｒ－Ｆｅ－Ｂ|ガラス基板|ＰＬＤ法|保磁力|厚膜磁石|Pr-Fe-B|glass substrate|PLD method |coercivity|thick film magnet

要約(日本語): 本研究室では，FeやTa等の金属基板上へ希土類系磁石膜を成膜し，ミリサイズモータ等へ搭載してきた。ここでは，本磁石膜のMEMSへの応用を鑑み，ガラス基板上へPr-Fe-B系磁石膜を成膜した。本稿では，その試料の磁気特性を中心に報告する。

要約(英語): In our laboratory, PLD- made rare-earth film magnets deposited on Fe or Ta substrates have been applied to several devices such as a milli-size motor. This contribution reports the deposition of Pr-Fe-B thick films on glass substrates in order to enhance the application filed of MEMS. Here, we mainly reports the magnetic properties of the samples.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,222 Kバイト