ナノグラニュラー軟磁性膜の高抵抗化と高周波化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG15111

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2015/10/16

タイトル(英語): Ultra-high resistive and anisotropic nanogranular soft magnetic films for GHz devices

著者名: 直江 正幸(電磁材料研究所),飯塚 昭光(電磁材料研究所),小林 伸聖(電磁材料研究所),大沼 繁弘(電磁材料研究所),荒井 賢一(電磁材料研究所),増本 健(電磁材料研究所)

著者名(英語): Masayuki Naoe(Research Institute for Electromagnetic Materials),Akimitsu Iizuka(Research Institute for Electromagnetic Materials),Nobukiyo Kobayashi(Research Institute for Electromagnetic Materials),Shigehiro Ohnuma(Research Institute for Electromagnetic Materials),Ken-Ichi Arai(Research Institute for Electromagnetic Materials),Tsuyoshi Masumoto(Research Institute for Electromagnetic Materials)

キーワード: ナノグラニュラー膜|比抵抗|異方性磁界|強磁性共鳴周波数|フッ化物|結晶磁気異方性|Nanogranular films|Resistivity|Anisotropy field|Ferromagnetic resonance frequency|Fluorides|Magnetocrystalline anisotropy

要約(日本語): 高周波軟磁性膜の実用化に向け、ナノグラニュラー軟磁性膜の高抵抗化と高周波化に取り組んだ。フッ化物から成るマトリックス材料は、膜の抵抗を飛躍的に向上させた。そのため、従来よりも磁性金属グラニュールが多い組成を用いることができる。結晶磁気異方性が高い金属は膜の異方性磁界を高くし、タンデムスパッタ法は、その異方性磁界を際だたせた。これらの結果、一定の比抵抗を保ちながら、透磁率の共鳴周波数は10 GHzを超えた。

要約(英語): The authors investigated enhancing electrical resistivity and magnetic anisotropy field of nanogranular soft magnetic films for GHz devices. Matrix material consisting of fluorides enabled us to obtain higher resistivity. High magnetocrystalline anisotropic metals for nanogranules and tandem-sputtering method resulted in higher anisotropy field, hence ferromagnetic resonance frequency exceeded 10 GHz.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,645 Kバイト