Si基板上へのNd-Fe-B系厚膜磁石の成膜と微細加工

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG16096

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2016/08/09

タイトル(英語): Deposition of Nd-Fe-B thick film magnets on Si substrates and their micromachining

著者名: 清水 大(長崎大学),竹馬 雄(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学),藤原 良元(東京工業大学),進士 忠彦(東京工業大学)

著者名(英語): Dai Shimizu(Nagasaki university),Yu Chikuba(Nagasaki university),Akihiro Yamashita(Nagasaki university),Takeshi Yanai(Nagasaki university),Masaki Nakano(Nagasaki university),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki university),Ryogen Fujiwara(Tokyo Institute of Technology),Tadahiko Shinshi(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: Ｎｄ－Ｆｅ－Ｂ　系厚膜磁石|　ＰＬＤ（Ｐｕｌｓｅｄ　Ｌａｓｅｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法|Ｓｉ基板|微細加工|Nd-Fe-B thick film magnets|PLD(Pulsed Laser Deposition)method|Si substrate|micromachining

要約(日本語): すでに我々はPLD法を用い，Si基板上のNd-Fe-B系磁石膜の成膜を報告してきた。本稿では，磁石膜の界面とSi基板の界面が熱処理時の試料の破壊に及ぼす影響に着目した。更には，上記試料の微細加工に関する結果も報告する。

要約(英語): We have reported PLD-fabricated Nd-Fe-B thick film magnets deposited on Si substrates. In the report, we focused on the effect of the boundary between a Si substrate and a film magnet on the destruction of samples during an annealing process. Furthermore, the micromachining of the above-mentioned sample was demonstrated.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,237 Kバイト