シリコン・ガラス基板上へのR(Pr or Nd)-Fe-B系磁石膜の創製と磁気特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG18095

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2018/08/10

タイトル(英語): Fabrication and magnetic properties of R (Nd or Pr)-Fe-B film magnets deposited on silicon or glass substrates

著者名: 竹市 蕉(長崎大学),山口 雄太(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),高嶋 恵佑(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

著者名(英語): Sho Takeichi(Nagasaki University),Yuta Yamaguchi(Nagasaki University),Akihiro Yamashita(Nagasaki University),Keisuke Takashima(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University)

キーワード: ＰＬＤ　（Ｐｕｌｓｅｄ　Ｌａｓｅｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）|Ｒ（Ｐｒ　ｏｒ　Ｎｄ）－Ｆｅ－Ｂ|Ｓｉ基板|ガラス膜|磁気特性|機械的破壊|PLD (Pulsed Laser Deposition)|R(Pr or Nd)-Fe-B|silicon substrates|glass film|magnetic properties|mechanical destruction

要約(日本語): 本研究室では，PLD法を用い，FeやTa等の金属基板上へ希土類系磁石膜を成膜し，ミリサイズモータ等へ搭載してきた。ここでは，磁石膜のMEMSへの応用を鑑み，シリコンやガラス基板上へPr(or Nd)-Fe-B系磁石膜の成膜を検討した。本稿では，その試料の破壊現象や磁気特性に関して報告する。

要約(英語): In our laboratory, PLD- made rare-earth film magnets deposited on Fe or Ta substrates have been applied to several devices such as a milli-size motor. This contribution reports the deposition of Pr(or Nd)-Fe-B thick films on Si or glass substrates in order to apply the films to the application filed of MEMS. In this article, we report the destruction phenomenon together with magnetic properties of the above-mentioned samples.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 794 Kバイト