アモルファス磁性薄膜の逆磁歪効果を利用した磁気異方性誘導法とそのセンサ応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG18186

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2018/12/11

タイトル(英語): Anisotropy induce method using inverse magnetostrictive effect of amorphous magnetic film and their sensor application

著者名: 枦 修一郎(東北大学),曽良 大輔(東北大学),久保 結人(東北大学),荒井 薫(東北大学),石山 和志(東北大学)

著者名(英語): Hashi Shuichiro(Tohoku University),Sora Daisuke(Tohoku University),Kubo Yuito(Tohoku University),Arai Kaoru(Tohoku University),Ishiyama Kazushi(Tohoku University)

キーワード: アモルファス磁性薄膜|磁歪|逆磁歪効果|歪センサ|振動センサ|amorphous magnetic film|magnetostriction|inverse magnetostrictive effect|strain sensor|vibration sensor

要約(日本語): 熱処理後の積層構造の残留応力を利用した磁歪膜の異方性制御法を提案した。 また、この方法で異方性制御されたFeSiB膜を用いた高感度の歪み・振動センサを実現した。

要約(英語): Anisotropy control method of magnetostrictive film employing a residual stress of lamination structure after annealing was proposed. In addition, high sensitive strain and vibration sensor using the anisotropy controlled FeSiB film by the method were realized.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 719 Kバイト