ガラス/Fe-Co複合ターゲットを用いた高周波用磁性膜の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG20069

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2020/08/03

タイトル(英語): Preparation of high frequency magnetic films using a glass/Fe-Co composite target

著者名: 松岡 諒(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

著者名(英語): Ryo Matsuoka(Nagasaki University),Akihiro Yamashita(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),MASAKI NAKANO(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University)

キーワード: 磁性膜|ＰＬＤ（Ｐｕｌｓｅｄ　Ｌａｓｅｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）|ガラス|Ｆｅ－Ｃｏ|高周波|微細構造|magnetic film|PLD(Pulsed Laser Deposition)|glass|Fe-Co|high frequency|microstructure

要約(日本語): 本研究では、高速の成膜速度下で積層構造を作製可能なPLD（Pulsed Laser Deposition）法を用い，「高飽和磁気分極（約2.45 T）を持つFe65Co35」と「高抵抗のガラス（松波ガラス：S1112）」を複合したターゲットを利用する事により，Fe-Co／ガラス積層膜を厚膜化する手法に取り組んだ。ここでは，磁気特性ならびに微細構造などの結果について報告する。

要約(英語): In the study, a PLD method with high deposition rate using a multi target composed of a Fe65Co35 alloy together with a glass plate enabled us to Fe-Co/glass multi-layered thick films. We mainly report magnetic properties and microstructure of the obtained films.

原稿種別: 日本語

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