CoFeB/MgO/CoFeB磁気トンネル接合におけるアモルファスCoFeBの結晶化過程

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MC06004

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門　金属・セラミックス研究会

発行日: 2006/11/28

タイトル(英語): Crystallization process of amorphous CoFeB film in CoFeB/MgO/CoFeB magnetic tunnel junctions

著者名: 竹内 隆(東京工業大学),源関聡(東京工業大学),北本 仁孝(東京工業大学),恒川孝二(キヤノンアネルバ 東京工業大学),永峰 佳紀(キヤノンアネルバ),ダビット ジャヤプラウイラ(キヤノンアネルバ),星陽一(東京工芸大学)

著者名(英語): Takashi Takeuchi|Sou Genseki|Yoshitaka Kitamoto|Koji TsunekawaCanon ANEINA Corporation|Yoshinori Nagamine|David D.Djayaprawira|Youichi Hoshi

キーワード: CoFeB結晶成長|CoFeB/MgO界面|MgOテンプレート|CoFeBアニール温度依存性|CoFeB膜厚依存性

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,080 Kバイト