O3雰囲気中での低温酸化による銀酸化物薄膜の作製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MC14014

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 金属・セラミックス研究会

発行日: 2014/11/24

タイトル(英語): Synthesis of sliver oxide thin films by oxidation at low temperature under O3 atmosphere

著者名: 七尾 美子(東京農工大学)

著者名(英語): Nanao Yoshiko(Tokyo university of agriculture and technology)

キーワード: 酸化銀|ＡｇＯ|オゾン|立方晶|蒸着|ＸＲＤ|Ag oxide|AgO|Ozone|cubic|deposition|X-ray Diffraction

要約(日本語): AgOは古くから知られている2元系銀酸化物であり、いくつかの結晶構造をとると報告されている。本実験では、Al2O3-c基板上にAg800Åを蒸着した後、O3雰囲気中で75-350℃に保持し銀酸化物薄膜を作製した。100-300℃で作製した試料でcubicのAgOと思われるXRDパターンが得られた。

要約(英語): AgO has been fabricated over the past decade and AgO can crystallize in three polymorphic forms; monoclinic, tetragonal and cubic. We report on the synthesis of AgO by deposition of silver films on c-cut(0 0 0 1) sapphire substrates followed by oxidation in O3 atmosphere with different temperature in the 75-350oC range. 100-300oC annealed films show XRD patterns cubic AgO.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,136 Kバイト