2 軸制御ベアリングレスモータの磁気支持定数測定

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MD11077

グループ名: 【D】産業応用部門 モータドライブ研究会

発行日: 2011/12/16

タイトル(英語): A Measurement of Suspension Force Parameters of Two-Axis Actively Regulated Bearingless Motor

著者名: 杉元 紘也(東京工業大学),朝間 淳一(静岡大学),千葉 明(東京工業大学)

著者名(英語): Sugimoto Hiroya(Tokyo Institute of Technology),Asama Junichi(Shizuoka University),Chiba Akira(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: ベアリングレスモータ|磁気軸受|２軸制御|多極|低速|揺動|bearingless motor|magnetic bearing|two-axis actively regulated|multi-pole|low speed|swinging

要約(日本語): 2軸制御ベアリングレスモータは、半導体製造装置における真空チャンバー内の低速回転ステージや監視カメラのステージのように揺動運動する用途への応用が期待されている。著者らは低速で揺動運動可能な試作機を製作し浮上に成功した。しかし磁気支持力の測定を行った結果、解析値との誤差が8.5%であった。本論文では2軸制御ベアリングレスモータの磁気支持力の測定方法を提案し、実験と解析結果が良く一致することを示す。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,084 Kバイト