2軸制御ワイドギャップベアリングレスモータにおける支持力及びトルク性能の向上

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MD12082

グループ名: 【D】産業応用部門 モータドライブ研究会

発行日: 2012/12/14

タイトル(英語): Improvements of suspension force and torque in Two-Axis Actively Regulated Bearingless Motor with Wide Magnetic Gap

著者名: 上村 悠介(東京工業大学),杉元 紘也(東京工業大学),千葉 明(東京工業大学)

著者名(英語): Uemura Yusuke(Tokyo Institute of Technology),Sugimoto Hiroya(Tokyo Institute of Technology),Chiba Akira(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: ベアリングレスモータ|ワイドギャップ|コンシクエントポール|ホモポーラ磁束|bearingless|wide gap|consiquent-pole|homopolar flux

要約(日本語): 近年，半導体製造装置などの用途において，ワイドギャップ化されたベアリングレスモータが要求されている。そこで，先行研究でホモポーラ構造のコンシクエントポール型ベアリングレスモータが提案された。しかし，先行研究では固定子のヨーク部での磁気飽和の影響で高い支持力が得られず，またトルク脈動に課題が残されていた。本論文では，固定子や回転子の構造，磁石に変更を加えることで支持力及びトルクの性能を向上させる。

要約(英語): A wide magnetic gap bearingless motor is required in canned pumps and process champers in semiconductor and LCD process. In two-axis actively regulated bearingless motors, having the wide gap causes decreases in radial magnetic suspension force, axial restoring force and tilting restoring torque, as well as in rotational torque. In this paper, a homopolar consequent-pole bearingless motor has been improved with wide magnetic gap. Design improvement of the stator, rotor and permanent magnets (PMs) arrangement is presented with a three- dimensional finite element method analysis. The improved structure to enhance the radial suspension force and torque is shown.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,791 Kバイト