モード影響定数行列を用いた多慣性系の制御系設計

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MEC13161

グループ名: 【D】産業応用部門 メカトロニクス制御研究会

発行日: 2013/09/03

タイトル(英語): Control System Design using Residue Matrix for Multi-inertia System

著者名: 白石 貴行(東京都立産業技術高等専門学校),坂田 晃一(ニコン),佐伯 和明(ニコン),藤本 博志(東京大学)

著者名(英語): Shiraishi Takayuki(Tokyo Metropolitan College of Industrial Technology),Sakata Koichi(Nikon Corporation),Saiki Kazuaki(Nikon Corporation),Fujimoto Hiroshi(The University of Tokyo)

キーワード: モード影響定数|位置決め|Residue|Position Contol

要約(日本語): 2慣性系に代表される多慣性系の位置決めでは，セミクローズド制御の場合に多くの設計手法が提案されているが，複数センサを用いた場合の制御系設計手法は設計指針を含め整備されていない。本研究では，多慣性系に複数センサを用いる場合の制御系設計手法を提案する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 717 Kバイト