コンタクトモードAFM を用いた試料表面形状と弾性特性の同時推定法

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MEC13166

グループ名: 【D】産業応用部門 メカトロニクス制御研究会

発行日: 2013/09/03

タイトル(英語): Simultaneous Estimation of Sample Surface Topography and Elasticity using contact-mode AFM

著者名: 渡辺 早紀矢(東京大学),藤本 博志(東京大学)

著者名(英語): Sakiya Watanabe(The University of Tokyo),Hiroshi Fujimoto(The University of Tokyo)

要約(日本語): 原子間力顕微鏡（AFM）は原子レベルの分解能を持つ顕微鏡である。AFMはカンチレバと呼ばれるてこで試料をなぞることで，試料の表面形状を得る。そこで，この特徴を用いてソフトマテリアルの粘弾性特性を測定する研究が行われている。しかし，AFMの高速化に比べて粘弾性測定に関する技術は遅れていると言われている。本稿では，逐次最小二乗法を用い，試料の走査において試料の弾性特性を測定する手法を提案する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,234 Kバイト