共振周波数変動に対するロバスト性を考慮した２段アクチュエータ荷重制御系の設計

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MEC13168

グループ名: 【D】産業応用部門 メカトロニクス制御研究会

発行日: 2013/09/03

タイトル(英語): Force Controller Design for Dual-Stage Actuator Considering Robustness Against Variations in Resonant Frequencies

著者名: 篠原 悠作(名古屋工業大学),関 健太(名古屋工業大学),岩崎 誠(名古屋工業大学)

著者名(英語): Shinohara Yusaku(Nagoya Institute of Technology),Seki Kenta(Nagoya Institute of Technology),Iwasaki Makoto(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: 荷重制御装置|２段アクチュエータ|ＰＱ法|Ｈ∞制御|周波数変動|ロバスト性能|force control system|dual-stage actuator|PQ method|H infinity control|frequency variation|robust property

要約(日本語): 本研究対象である荷重制御機構は，研磨装置として用いられるため目標荷重に高精度に追従する必要がある。そこでは，サーボ帯域の拡大を実現するため，空気圧シリンダとボイスコイルモータを併用している。しかし，本制御対象に内在する共振モードは空気の圧縮性に起因したばね力により発生するため，環境の変化により周波数が変動し，制御精度の劣化を招く。そこで，本研究では，共振周波数変動を考慮した制御系を提案する。

要約(英語): This paper presents a controller design approach to provide robust performance against variations in resonant frequencies. In this research, the controller is designed by PQ method and H∞ control framework to consider the interference and the frequency variation. The proposed approach has been verified by experiments.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 963 Kバイト