超精密ステージにおける非線形性と軸間干渉を有する回転運動の干渉解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MEC13169

グループ名: 【D】産業応用部門 メカトロニクス制御研究会

発行日: 2013/09/03

タイトル(英語): Interference Analysis of Rotational Motion for High-precision Stage Considering Nonlinearity and Coupling

著者名: 大西 亘(東京大学),藤本 博志(東京大学),坂田 晃一(ニコン),鈴木 一弘(ニコン),佐伯 和明(ニコン)

著者名(英語): Ohnishi Wataru(The University of Tokyo),Fujimoto Hiroshi(The University of Tokyo),Sakata Koichi(Nikon Corporation),Suzuki Kazuhiro(Nikon Corporation),Saiki Kazuaki(Nikon Corporation)

キーワード: 干渉解析|回転運動|オイラーの運動方程式|運動学|非線形性|非干渉化|Interference analysis|Rotational motion|Euler's equation|Rotational kinematics|Nonlinearity|Decoupling

要約(日本語): 剛体の回転運動には，オイラーの運動方程式と物体座標系の回転による非線形性と軸間干渉が存在する。本稿では，その非線形性と軸間干渉について，各要素を補償するかしないかの組み合わせにより，8種類のFF制御器を構成することで，干渉解析を行う。干渉解析により回転運動の非線形性と軸間干渉について支配的要因を明らかにすることで，より計算量の観点から効率のよいFF制御器の構成法を示す。また，回転運動の見通しの良い近似を作成することにもつながる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,076 Kバイト