ナイキスト配列法における干渉指数を用いた超精密ステージの機構と制御の統合設計の提案

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MEC14148

グループ名: 【D】産業応用部門 メカトロニクス制御研究会

発行日: 2014/09/01

タイトル(英語): Proposal of integrated design of mechanism and control for high-precision stage by interaction index on Direct Nyquist Array method

著者名: 大西 亘(東京大学),藤本 博志(東京大学),坂田 晃一(ニコン),鈴木 一弘(ニコン),佐伯 和明(ニコン)

著者名(英語): Ohnishi Wataru(The University of Tokyo),Fujimoto Hiroshi(The University of Tokyo),Sakata Koichi(Nikon Corporation),Suzuki Kazuhiro(Nikon Corporation),Saiki Kazuaki(Nikon Corporation)

キーワード: ナイキスト配列法|干渉指数|超精密ステージ|機構と制御の統合設計|Direct Nyquist Array method|interaction index|high-precision stage|integrated design of mechanism and control

要約(日本語): 本稿では，新たな機構と制御の統合設計法を提案する。機構の工夫により制御の制約条件を緩和でき，また一方で制御により機構の制約条件を緩和できる。本稿ではナイキスト配列法で用いる干渉指数の考えから最適な機構を提案する。そして，その最適な機構により，簡単な前置補償器により十分な非干渉化が可能であることを示す。

要約(英語): In multi-input multi-output control system, generally, coupling force can deteriorate a control performance and stability of other axes. In this situation, a decoupling filter called precompensator with relatively high order transfer functions is implemented. In this paper, a novel integrated design method of mechanism and control for high-precision stage is proposed. In this method, interaction index on Direct Nyquist Array method is utilized as a performance index. We can decouple translational motion and rotational motion by using simple decoupling filter and optimized mechanism.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,933 Kバイト