制約付き終端状態制御における初期状態変数を用いたモード切り替え制御及び超精密2段ステージへの適用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MEC14167

グループ名: 【D】産業応用部門 メカトロニクス制御研究会

発行日: 2014/10/11

タイトル(英語): Mode Switching Control Using Initial State Variables in Constraint Final-State Control and Application of it to High-Precision Dual Stage

著者名: 矢崎 雄馬(東京大学),藤本 博志(東京大学),坂田 晃一(ニコン),原 篤史(ニコン),佐伯 和明(ニコン)

著者名(英語): Yazaki Yuma(University of Tokyo),Fujimoto Hiroshi(University of Tokyo),Sakata Koichi(Nikon Corporation),Hara Atsushi(Nikon Corporation),Saiki Kazuaki(Nikon Corporation)

キーワード: 精密位置決め|２段アクチュエータ|終端状態制御|モード切り替え制御|初期状態変数|推力制約|Precise Positioning|Dual Actuator|Final State Control|Mode Switching Control|Initial State Variable|Thrust Limitation

要約(日本語): 本論文では，推力制約をもつ終端状態制御における初期状態変数条件を用いたモード切り替え制御を超精密2段ステージに適用する。従来，制御切り替え条件は設計者があらかじめ定めるため，推力制約を考慮する場合，保守的な設計になりやすかった。本条件を用いることにより，制御切り替え条件を定量的に議論できるようになり，推力制約を満たしつつ高性能な制御が行えるようになることを実験により示す。

要約(英語): This paper applies the mode switching control using initial state variables in constrained final-state control to high-precision dual stage. Experimental results demonstrate the effectiveness of the proposed method.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,188 Kバイト