磁界共振結合を用いたMoving Coil型ワイヤレスリニアモータの基礎検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MEC16023

グループ名: 【D】産業応用部門 メカトロニクス制御研究会

発行日: 2016/09/29

タイトル(英語): Basic Study on Moving Coil Type Wireless Linear Motor based on Magnetic Resonance Coupling

著者名: 西村 拓朗(東京大学),矢崎 雄馬(東京大学),大西 亘(東京大学),佐藤 基(東京大学),居村 岳広(東京大学),藤本 博志(東京大学),堀 洋一(東京大学)

著者名(英語): Takurou Nishimura(The University of Tokyo),Yuma Yazaki(The University of Tokyo),Wataru Ohnishi(The University of Tokyo),Motoki Sato(The University of Tokyo),Takehiro Imura(The University of Tokyo),Hiroshi Fujimoto(The University of Tokyo),Yoichi Hori(The University of Tokyo)

キーワード: 超精密ステージ|ケーブル外乱|ワイヤレス電力伝送|磁界共振結合|high-precision stage|cable disturbance|wireless power transfer|magnetic resonance coupling

要約(日本語): 半導体・液晶製造装置は，ステーシ?を高速高精度に位置決めする必要か?ある。そのため，外乱を低減するために機構・制御共に研究か?行われてきた。しかし，多くの例で，強電・弱電の電力ケーフ?ル，通信線などに起因するケーフ?ル外乱か?主要な外乱要因であった。そこで本稿では，磁界共振結合を用いたMoving Coil型ワイヤレスリニアモータを提案する。本構造により，軽量であり，強電と弱電をケーブルレスで実現できる。本稿では，本コンセプトを実証するためのステージを設計・製作し，基礎実験を行った。

要約(英語): Semiconductor and LCD manufacturing equipment, it is necessary to position the stage in high-speed and high-precision, and has been developed on both the mechanism and control. However, there is an error of the experimental results are described that it is a cable disturbance caused by such power cables and communication lines. Therefore, in order to eliminate the high-voltage cable disturbance, this paper proposes a next generation high-precision stage with lightweight Moving coil type linear motor powered by wireless power transfer via magnetic resonance coupling.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,050 Kバイト