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可変波長半導体レーザガス分析計と産業プロセス応用
可変波長半導体レーザガス分析計と産業プロセス応用
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カテゴリ: 研究会(論文単位)
論文No: MID08015
グループ名: 【D】産業応用部門 金属産業研究会
発行日: 2008/09/19
タイトル(英語): Tunable Diode Laser Gas Analyzer and Its Application to Industrial Process
著者名: 村田 明弘(横河電機)
著者名(英語): Akihiro Murata(Yokogawa Electric Corporation)
キーワード: 半導体レーザ|可変波長レーザ|レーザ分光|ガス分析計|燃焼制御|脱硝装置|Tunable Diode Laser|Spectroscopy|Gas analyzer|Combustion Control|DeNOx Process
原稿種別: 日本語
PDFファイルサイズ: 529 Kバイト
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