FIB-CVDによるピラーを用いた多種材料のヤング率測定

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05001

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/03/10

タイトル(英語): Young's Modulus Measurement of Nanopillars for Various Materials Fabricated by Focused-Ion Beam, Chemical-Vapor-Deposition

著者名: 井垣 潤也(兵庫県立大学,CREST JST),松井 真二(兵庫県立大学,CREST JST)

著者名(英語): Jun-ya Igaki(University of Hyogo,CREST JST),Shinji Matsui(University of Hyogo,CREST JST)

キーワード: 集束イオンビーム化学気相成長法|アモルファス|ナノピラー|共鳴振動|ヤング率

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 681 Kバイト