集束イオンブーム励起化学気相成長法を用いて作製したダイアモンド,ライクカーボンナノスプリングの機械特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05002

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/03/10

タイトル(英語): Mechanical Characteristics of DLC Nano-Spring Fabricated by FIB-CVD

著者名: 中松 健一郎(兵庫県立大学,CREST/JST),松井 真二(兵庫県立大学,CREST/JST)

著者名(英語): Ken-ichiro Nakamatsu(University of Hyogo,CREST/JSD),Shinji Matsui(University of Hyogo,CREST/JSD)

キーワード: 集束イオンブーム|励起化学気相成長法|ダイアモンドライクカーボン|ナノスプリング|機械特性

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 794 Kバイト