マイクロミラー設計に向けた厚膜フォトレジストSU-8の粘弾性特性評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05003

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/03/10

タイトル(英語): Evaluation of Visco-Elastic Properties for Micron-Thick SU-8 Polymers towards Reliable Design of MEMS Optical Mirror.

著者名: 瀧尾健一 (兵庫県立大学),生津資大 (兵庫県立大学),井上 尚三(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学),小寺澤 啓司(兵庫県立大学)

著者名(英語): Ken'ichi Takio(University of Hyogo),Takahiro Namazu(University of Hyogo),Shozo Inoue(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo),Keiji Koterazawa(University of Hyogo)

キーワード: SU-8|ヤング率|緩和弾性率|マスターカーブ|引張試験|応力緩和試験|マイクロミラー|MEMS

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 954 Kバイト