有接点RF MEMSリレーの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05005

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/03/10

タイトル(英語): Development of Ohmic-Contact RF MEMS Relay

著者名: 積 知範(立命館大学),今仲行一 (立命館大学),杉山 進(立命館大学)

著者名(英語): Tomonori Seki(Ritsumeikan University),Koichi Imanaka(Ritsumeikan University),Susumu Sugiyama(Ritsumeikan University)

キーワード: マイクロマシニング|RF MEMS|スイッチ|リレー|非線形ばね

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,082 Kバイト