バルクセラミックスPb(Zr,Ti)O3を用いた圧電マイクロアクチュエータの作製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05006

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/03/10

タイトル(英語): Fabrication of piezoelectric micro actuator using Pb(Zr,Ti)O3 bulk ceramics

著者名: 小西 隆寛(立命館大学),井出 雅人(立命館大学),田中 克彦(立命館大学),杉山 進(立命館大学)

著者名(英語): Takahiro Konishi(Ritsumeikan University),Masato Ide(Ritsumeikan University),Katsuhiko Tanaka(Ritsumeikan University),Susumu Sugiyama(Ritsumeikan University)

キーワード: PZT|アクチュエータ|共晶接合|エキシマレーザー加工

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,224 Kバイト