2次元光スキャナ用スパイダーレッグ型マイクロXYステージの電気機械的特性解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05007

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/03/10

タイトル(英語): Electromechanical characterization of Micro XY-stages with Spider-leg Actuators for 2-Dimensional Optical Scanning

著者名: 権鎬楠 (光州科学技術院),李鐘? (光州科学技術院),高橋 一浩(東京大学),年吉 洋(東京大学)

著者名(英語): Ho Nam Kwon (GIST),Jong-Hyum Lee(GIST),Kazuhiro Takahashi(IIS,Univ.of Tokyo),Hiroshi Toshiyoshi(IIS,Univ.of Tokyo)

キーワード: Spider-leg|XY-stage|Optical scanner

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,266 Kバイト