集束イオンブーム化学気相成長法(FIB-CVD)を用いた3端子ナノマニピュレータ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05009

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/03/10

タイトル(英語): Three Terminal Nanomanipulator Fabrication by Focused-Ion-Beam Chemical-Vapor Deposition

著者名: 河守将典 (兵庫県立大学,CREST JST),松井 真二(兵庫県立大学,CREST JST)

著者名(英語): Masanori Kawamori(University of Hyogo,CREST JST),Shinji Matsui(University of Hyogo,CREST JST)

キーワード: 集束イオンブーム化学気相成長法(FIB-CDV)|3次元ナノ構造体|静電ナノマニピュレータ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 959 Kバイト