集束イオンブーム化学気相成長法を用いたナノ電磁石の作製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05011

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/03/10

タイトル(英語): Nano-Electromagnet Fabrication by Focused-Ion-Beam Chemical-Vapor-Deposition

著者名: 小笹 明賀(兵庫県立大学,CREST JST),松井 真二(兵庫県立大学,CREST JST)

著者名(英語): Akinori Ozasa(University of Hyogo,CREST JST),Shinji Matsui(University of Hyogo,CREST JST)

キーワード: 集束イオンブーム|電磁石|磁気|3D立体構造|磁気センサー

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 876 Kバイト