コンデンサ型超音波センサにおけるダンピングホールの最適設計

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05018

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/03/10

タイトル(英語): Optimal Design of Damping Holes in a Condenser Type Ultrasonic Sensor

著者名: 古川 克英(関西大学),吉川大一朗 (関西大学),牧平 憲治(関西大学),青柳 誠司(関西大学)

著者名(英語): Katsuhide Furukawa(Kansai University),Daiichiro Yochikawa(Kansai University),Kenji Makihira(Kansai University),Seiji Aoyagi(Kansai University)

キーワード: 超音波センサ|ダンピングホール|パりレン

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 853 Kバイト