FET動作を用いた増幅型静電容量圧力センサの作製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05019

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/03/10

タイトル(英語): Fabrication of FET capacitive sensors

著者名: 山下 英倫(関西大学),牧平 憲治(関西大学),青柳 誠司(関西大学)

著者名(英語): Hidenori Yamashita(Kansai University),Kenji Makihira(Kansai University),Seiji Aoyagi(Kansai University)

キーワード: 圧力センサ|MOSFET|静電容量センサ|信号増幅

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,021 Kバイト