放送用コンデンサ型シリコンマイクロホンの試作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05021

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/06/22

タイトル(英語): Fabrication of a Condenser Silicon Microphone for Broadcasting

著者名: 後藤 正英(NHK放送技術研究所),田島 利文(NHK放送技術研究所),井口 義則(NHK放送技術研究所),小野 一穂(NHK放送技術研究所),安藤 彰男(NHK放送技術研究所),谷岡 健吉(NHK放送技術研究所),武子 太司(パナソニックSCデバイスソリューションズ株式会社),松永 進(パナソニックSCデバイスソリューションズ株式会社),安野 功修(パナソニックSCデバイスソリューションズ株式会社)

著者名(英語): Masahide Goto(NHK Science and Technical Research Laboratories),Toshifumi Tajima(NHK Science and Technical Research Laboratories),Yoshinori Iguchi(NHK Science and Technical Research Laboratories),Kazuho Ono(NHK Science and Technical Research Laboratories),Akio Ando(NHK Science and Technical Research Laboratories),Kenkichi Tanioka(NHK Science and Technical Research Laboratories),Futoshi Takeshi(Panasonic SD Device Solutions Co.,Ltd.),Susumu Matsunaga(Panasonic SD Device Solutions Co.,Ltd.),Yoshinobu Yasuno(Panasonic SD Device Solutions Co.,Ltd.)

キーワード: マイクロホン|シリコン|MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)|ダイアフラム|バックプレート

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,014 Kバイト