高密度触覚センサのための高感度マイクロ圧力センサの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05024

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/06/22

タイトル(英語): A Development of High Sensitivity-Micro-Pressure Sensor as an element for High Resolution Tactile Sensing Application

著者名: 林 直毅(熊本大学大学院),大嶋一郎 (熊本大学大学院),森 康雄(熊本大学大学院),萩原龍馬 (熊本大学大学院),川嶋 大喜(熊本大学大学院),中田 明良(熊本大学大学院),久保田 弘(熊本大学大学院)

著者名(英語): Naoki Hayashi(Kumamoto University),Ichiro Ohshima(Kumamoto University),Yasuo Mori(Kumamoto University),Ryoma Hagiwara(Kumamoto University),Daiki Kawashima(Kumamoto University),Akira Nakada(Kumamoto University),Hiroshi Kubota(Kumamoto University)

キーワード: ピエゾ抵抗型圧力センサ|シリコン異方性ウエットエッチング|レチクルフリー露光方式

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 939 Kバイト