音叉型水晶振動子を用いた非接触型AFMプローブの設計および製作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05027

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/06/22

タイトル(英語): Design Fabrication of Non-contact AFM Probe utilizing the Crystal-Quartz Tuning Fork

著者名: 肥田 博隆(名古屋大学),式田 光宏(名古屋大学),福澤 健二(名古屋大学),佐藤 健二(東洋通信機),小野 淳(東洋通信機),浅海 和雄(みずほ情報総研),入江康朗 (みずほ情報総研),程迪 (名古屋大学),佐藤 一雄(名古屋大学)

著者名(英語): Hirotaka Hida(Nagoya University),Mitsuhiro Shikida(Nagoya University),Kenji Fukuzawa(Nagoya University),Kenji Sato(Tokyo Communication Equioment Co.,Ltd.),Atsushi Ono(Tokyo Communication Equioment Co.,Ltd.),Kazuo Asaumi(Mizuho Information and Research Institute,Inc.),Yasuroh Iriye(Mizuho Information and Research Institute,Inc.),Di Cheng(Nagoya University),Kazuo Sato(Nagoya University)

キーワード: 非接触型AFM|水晶|音叉|圧電性|結晶異方性エッチング

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,225 Kバイト