機械加工とシリコンエッチングによる薬液導入路を持つマイクロニードルアレイの製作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05029

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/06/22

タイトル(英語): Fabrication of Microneedles Having Flow Channel by Machining and Wet Etching Processes

著者名: 羽佐田 武彦(名古屋大学),式田 光宏(名古屋大学),佐藤 一雄(名古屋大学)

著者名(英語): Takehiko Hasada(Nagoya University,Japan),Mitsuhiro Shikida(Nagoya University,Japan),Kazuo Sato(Nagoya University,Japan)

キーワード: マイクロニードル|異方性ウエットエッチング|ダイシング加工

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,207 Kバイト