3枚羽根光ミキサーの作製と微小流路への応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05030

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/06/22

タイトル(英語): Fabrication of Three Wing Optical Mixers and Its Application to a Liquid Mixing in a Microchanel

著者名: 赤木 太輔(立命館大学),高田 康作(立命館大学),浮田 宏生(立命館大学)

著者名(英語): Daisuke Akagi(Ritsumeikan University),Kosaku Takada(Ritsumeikan University),Hiroo Ukita(Ritsumeikan University)

キーワード: 光圧回転|3枚羽根光ミキサー|SU-8|フォトリゾグラフィー|剥離|吸着|微小流路

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,481 Kバイト