PZT薄膜/SUSユニモルフアクチュエータの開発およびマイクロポンプへの応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05032

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/06/22

タイトル(英語): Development of PZT Thin-Film/SUS Unimorph actuators and Application to Micropumps

著者名: 長尾 昴(京都大学),秦 秀敏(京都大学),鈴木 孝明(京都大学),神野伊策 (京都大学),小寺 秀敏(京都大学)

著者名(英語): Taka Nagao(Kyoto University),Hidetoshi Hata(Kyoto University),Takaaki Suzuki(Kyoto University),Isaku Kanno(Kyoto University),Hidetoshi Kotera(Kyoto University)

キーワード: PZT|薄膜|MEMS|●-TAS|マイクロポンプ|進行波

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 830 Kバイト