SU-8の炭化によるパイロポリマーの三次元マイクロ構造の実現

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS05037

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2005/06/22

タイトル(英語): Conductive 3D Micro Structures of Pyrolyzed SU-8.

著者名: 山本 賢作(立命館大学),中 圭介(立命館大学),小西 聡(立命館大学),佐藤寛暢 (早稲田大学),庄子習一 (早稲田大学)

著者名(英語): Kensaku Yamamoto(Ritsumeikan University),Keisuke Naka(Ritsumeikan University),Satoshi Konishi(Ritsumeikan University),Hironobu Sato(Waseda University),Shuichi Shoji(Waseda University)

キーワード: 熱処理|パイロポリマー|導電性|三次元マイクロ構造|SU-8|収縮

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,680 Kバイト